其原理是利用高频率高电压在被处理的塑料表面电晕放电(高频交流电压高达5000-15000v/m2)，而产生低温等离子体，使塑料表面产生游离基反应而使聚合物发生交联．表面变粗糙并增加其对极性溶剂的润湿性-这些离子体由电和渗透进入被印体的表面破坏其分子结构，进而将被处理的表面分子氧化和极化，离子电侵蚀表面，以致增加承印物表面的附着能力。
等离子体中粒子的能量一般约为几个至几十电子伏特，大于聚合物材料的结合键能(几个至十几电子伏特)，完全可以破裂有机大分子的化学键而形成新键；但远低于高能放射性射线，只涉及材料表面，不影响基体的性能。处于非热力学平衡状态下的低温等离子体中，电子具有较高的能量，可以断裂材料表面分子的化学键,提高粒子的化学反应活性(大于热等离子体)，而中性粒子的温度接近室温，这些优点为热敏性高分子聚合物表面改性提供了适宜的条件。还有真空等离子处理机，在一个密封舱体内设置电极，在真空泵的作用下是舱体内的气压达到5--10毫托，再在高频发生器的作用下，电极之间产生等离子体，然后对样品表面进行处理，来达到改变表面活性的目的。
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